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Seeyu系列设备是一款类金刚石涂层中高品质、不含氢类金刚石膜层ta-C的PVD涂层设备。在技术上,Seeyu采用过滤型阴极弧离子源和磁控溅射作为等离子体发射源,配合以具有世界领先水准的设计和工艺,从而确保涂层产品的高品质。Seeyu系列涂层设备所生产的涂层产品可应用于高端工模具之上,也可应用于有极好耐磨性要求和自润滑要求的零件之上。

Seeyu系列涂层设备具有良好稳定性和高度自动化程度,带有成熟的ta-C涂层工艺。开放式的用户界面也为用户根据自身要求独立开发工艺提供了可行性。

技术特点:
PVD沉积技术:过滤型阴极弧离子源和磁控溅射
0.1um~2um厚ta-C涂层工艺
涂层沉积工艺气体:Ar
控制方式:PLC加工业PC全自动控制

典型应用:
有色金属、石墨、亚克力等材料的切削刀具
高精密镜面模具
半导体封装模具
自润滑耐磨零件
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